Author(s):
Santos, José Augusto Machado Figueiredo dos 
Date: 2007
Persistent ID: http://hdl.handle.net/10773/2436
Origin: RIA - Repositório Institucional da Universidade de Aveiro
Subject(s): Engenharia mecânica; Deposição química de vapor; Filmes de carbono; Filmes de diamante; Reactores químicos
Description
O presente trabalho teve como objectivo fundamental o projecto e
construção de um reactor para deposição química de filmes à base de carbono
em fase vapor, bem como o desenvolvimento do respectivo sistema de
controlo e monitorização.
Para efeitos, foi necessário, numa primeira fase de trabalho, realizar um
estudo aprofundado sobre os mecanismos físico-químicos de crescimento de
filmes de diamante segundo a técnica referida que serviu de base ao
dimensionamento do reactor.
O projecto do reactor foi orientado de modo a permitir atingir um produto final
com quatro características fundamentais: flexibilidade na execução de
experiências, fiabilidade dos resultados obtidos, fácil manutenção e baixo
custo. Do ponto de vista técnico, o reactor caracteriza-se pela sua constituição
modular, permitindo deposições bidimensionais e tridimensionais.
Por fim, o sistema de controlo e monitorização consiste numa ferramenta
informática, que permite a interligação de diferentes componentes do reactor,
seguindo uma hierarquia de operações previamente definida.
O sistema foi testado através da deposição de filmes de diamante em
substratos de silício, tendo-se constatado que os objectivos traçados foram
integralmente atingidos.
ABSTRACT: This work has fundamental objective the project and the construction of a
reactor for chemical deposition of films based on carbon-phase vapour, and the
development of its system of control and monitoring.
For purposes, it was necessary, in a first phase of work, perform a detailed
study of the physical and chemical mechanisms of growth of films of diamond
using the technique said that formed the basis for design of the reactor.
The project of the reactor was oriented to allow achieve a final product with four
key characteristics: flexibility in the implementation of experience, reliability of
the results obtained, easy maintenance and low cost. From a technical point of
view, the reactor is characterized by its constitution modular, allowing
deposition two-dimensional and three-dimensional.
Finally, the system of control and monitoring is based in a informatics tool,,
which allows the interconnection of different components of the reactor,
following a hierarchy of operations previously defined.
The system was tested by deposition of films of diamond on silicon substrates,
and has been found that the objectives set have been fully achieved. Mestrado em Engenharia Mecânica
