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Projecto e desenvolvimento de reactor HFCVD para revestimentos à base de carbono
Santos, José Augusto Machado Figueiredo dosO presente trabalho teve como objectivo fundamental o projecto e construção de um reactor para deposição química de filmes à base de carbono em fase vapor, bem como o desenvolvimento do respectivo sistema de controlo e monitorização. Para efeitos, foi necessário, numa primeira fase de trabalho, realizar um estudo aprofundado sobre os mecanismos físico-químicos de crescimento de filmes de diamante segundo a técn...
Data: 2007
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Origem: RIA - Repositório Institucional da Universidade de Aveiro
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