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Monitorização e otimização da deposição de filmes de óxidos mistos por RF-sputt...

Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física ; Este trabalho descreve a produção e caracterização de filmes de óxidos mistos depositados por pulverização catódica de rádio frequência assistida por magnetrão a partir de alvos de pó compactado, para utilização como elétrodos em aplicações ambientais. Os óxidos mistos utilizados como alvos apresentam a composição geral Ca1-xAxMnO3, com A=Sm ou...