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Estudo estrutural e ótico de filmes de ZnO/MgO por RF-sputtering
Ramalhadeiro, Rui Miguel MartinsEste trabalho tem como objetivo o estudo estrutural e ótico de filmes de óxido de Zinco (ZnO) em substrato de óxido de Magnésio (MgO), em função das condições de crescimento por RF-sputtering (pulverização catódica de rádiofrequência). As condições de pressão parcial de O2 e temperatura do substrato são variáveis que influenciam bastante o crescimento de filmes finos de ZnO. A escolha do substrato cúbico de MgO...
Data: 2012
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Origem: RIA - Repositório Institucional da Universidade de Aveiro
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