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On the microstructure of tungsten disulfide films alloyed with carbon and nitrogen

Nossa, A.; Cavaleiro, A.; Carvalho, N. J. M.; Kooi, B. J.; Hosson, J. Th. M. De

This work aimed at studying the effect of a Ti interlayer and the alloying with carbon and nitrogen of W-S-C(N) films on the mechanical and tribological properties. The W-S-C and W-S-N films were deposited by r.f. magnetron reactive sputtering with CH4 or N2 as reactive gases and analysed by high resolution electron microscopy techniques. The hardness showed an improvement with the addition of the alloying elem...


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