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Auto-calibrated Capacitive MEMS Accelerometer

L. A. Rocha; Lukas Mol; Edmond Cretu; Reinoud F. Wolffenbuttel; José Machado da Silva


Capacitive MEMS Accelerometers Testing Mechanism for Auto-Calibration and Long-...

L. A. Rocha; Lukas Mol; Edmond Cretu; Reinoud F. Wolffenbuttel; José Machado da Silva


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