Os filmes finos de Nitreto de Alumínio (AlN) fazem parte de um grupo de materiais, denominados nitretos III-V, em conjunto com o nitreto de gálio (GaN) e nitreto de índio (InN), que possuem propriedades físicas e químicas bastante promissoras para aplicações tecnológicas. O nitreto de alumínio destaca-se devido à sua elevada dissipação térmica, elevado ponto de fusão e hiato óptico, fazendo com que seja actualm...
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