Author(s):
Reis, Alexandre Francisco Pereira dos 
Date: 2010
Persistent ID: http://hdl.handle.net/10773/6810
Origin: RIA - Repositório Institucional da Universidade de Aveiro
Subject(s): Engenharia mecânica; Deposição química de vapor; Filmes de diamante; Revestimentos protectores; Reactores químicos
Description
O presente trabalho teve como principal objectivo, o estudo e montagem de
um reactor, para deposição de filmes de diamante a partir da fase vapor,
activado por um gerador de microondas. Do Inglês, microwave plasmaassisted
chemical vapour deposition (MPCVD).
Numa primeira fase do estudo, foi necessária a pesquisa e obtenção de
conhecimento na área do CVD, dos diferentes tipos de tecnologia existentes
bem como um estudo dos mecanismos físico-químicos de crescimento de
filmes de diamante.
Numa segunda fase, paralelamente acompanhada de pesquisa teórica, foi
efectuada a montagem física do sistema, em que foram necessárias
constantes limpezas, reparações e compras de componentes.
Por fim, o sistema foi testado nos parâmetros possíveis, não tendo sido criadas
amostras experimentais. Foram ainda calculadas optimizações a nível
mecânico, de vácuo, atmosférico e térmico. This work had as main purpose, the study, installation and optimization of a
microwave plasma-assisted reactor for chemical deposition of films based on
carbon-phase vapor (MPCVD).
In the first phase of the study, it was necessary to obtain knowledge and
research in the area of CVD, the different types of existing technology as well
as a study of the physicochemical mechanisms of diamond film growth.
In a second phase, accompanied by parallel theoretical research, the system
was physically assembled, what required constant cleaning, repairs and
purchases of components.
Finally, the system was tested at the possible parameters in spite that there
were not created any experimental samples. Mechanical, vacuum, atmospheric
and thermal optimizations were also calculated. Mestrado em Engenharia Mecânica
Document Type
Master Thesis
Language
Portuguese
Advisor(s)
Neto, Victor Fernando Santos; Mendes, Joana Catarina
