Author(s):
Marques, Vítor Manuel Farinha,
Date: 2006
Persistent ID: http://hdl.handle.net/10773/4813
Origin: RIA - Repositório Institucional da Universidade de Aveiro
Subject(s): Materiais vitrocerâmicos; Materiais vitrocerâmicos; Engenharia de materiais; Microelectrónica
Description
O presente trabalho de investigação visa o desenvolvimento de os substratos
vitro-cerâmicos multicamada para microelectrónica co-sinterizáveis a
temperaturas baixas com pastas de metais económicos e de baixo ponto de
fusão, “Low temperature Co-Fired Ceramics” (LTCC). Estes substratos têm um
melhor desempenho em aplicações envolvendo frequências elevadas de
transporte de sinais, comparativamente com a tecnologia tradicional dos
“Printed Circuit Boards” (PCB).
As formulações do material dieléctrico, retiradas do corte transversal do
sistema ternário Apatite-Anortite-Diopsite correspondente a um teor constante
de 4,8 wt.% de apatite, podendo ou não conter agentes de nucleação. As
formulações vitro-cerâmicas foram fundidas e vazadas em água fria.
Posteriormente as fritas foram moídas e devidamente caracterizadas em
termos de granulometria, usadas em estudos de nucleação, cristalização, de
dispersibilidade em meio aquoso, e na consolidação de corpos por prensagem
a seco para em estudos de sinterização, e no processamento de substratos
por tape casting, e as propriedades dos sinterizados foram avaliadas (CET, k,
e Tangδ). The main objective of this research was the development of glass-ceramic
multilayer substrates for microelectronic applications, co-fired at low
temperatures with an economic metal paste, which has low melting point,
usually referred as Low Co-Fired Ceramics (LTCC). This technology has been
extensively investigated in order to achieve high signal propagation speed,
reliability and low cost.
The compositions of the dielectric materials were obtained from the transversal
cut of the ternary system Anorthite-Diopside-Apatite, corresponding to an
Apatite amount of 4.8 wt.%, with or without the introduction of nucleation
agents. The glass-ceramic formulations were melted and spilled to cold water.
The obtained frits were then dried, milled and their granulometry was
evaluated. The frits were used in nucleation, crystallization and aqueous
dispersibility studies and in the consolidation of samples through dry uniaxial
pressing for sintering studies. The physical properties of the sintered samples
were evaluated (CET,k and Tanδ). Mestrado em Engenharia de Materiais