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Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride mem...

Author(s): Gonçalves, L. M. cv logo 1 ; Alpuim, P. cv logo 2 ; Filonovich, Sergey cv logo 3 ; Viseu, T. M. R. cv logo 4 ; Lanceros-Méndez, S. cv logo 5

Date: 2007

Persistent ID: http://hdl.handle.net/1822/8388

Origin: RepositóriUM - Universidade do Minho

Subject(s): Silicon; Nitride


Document Type Article
Language Portuguese
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