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Optical metrology for nanotechnology

Autor(es): Coelho, João M. P. cv logo 1 ; Rebordão, José Manuel cv logo 2

Data: 2008

Identificador Persistente: http://hdl.handle.net/10400.9/782

Origem: Repositório do LNEG


Tipo de Documento Documento de conferência
Idioma Inglês
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